感应耦合等离子体质谱法（ICP-MS）是一种高度敏感的质谱法。它可以看到浓度低于1012分之一（万亿分之一）的一系列金属和几种非金属。它的基础是将感应耦合等离子体作为产生离子（电离）的方法与质谱仪作为分离和检测离子的方法挂在一起。许多化学家使用氩气作为载气来制造等离子体。机器将样品离子送过一系列小锥体。锥体让等离子体离子慢慢进入质谱仪的真空室。
在微量元素分析中，与原子吸收技术相比，该方法具有速度快、精度高、灵敏度高的优点。同时分析较低的浓度，更容易受到实验室器皿和所用试剂中微量污染物的干扰。有些分析物不能用ICP-MS工作。分析结果的验证需要额外的工作。
应用的种类超过了ICP-OES，包括同位素鉴定。由于ICP-MS可以帮助制造原子弹，ICP-MS硬件是特别出口条例的对象。
问：什么是ICP-MS？
答：ICP-MS是电感耦合等离子体质谱法的缩写，是一种高灵敏度的质谱法。
问：ICP-MS可以检测什么？
答：ICP-MS可以检测浓度低于1012分之一（万亿分之一）的一系列金属和一些非金属。
问：ICP-MS是如何工作的？
答：ICP-MS的工作原理是将电感耦合等离子体作为产生离子的方法（电离）与质谱仪作为分离和检测离子的方法连接起来。
问：在ICP-MS中，通常使用什么气体作为等离子体的载气？
答：在ICP-MS中，通常使用氩气作为载气来制造等离子体。
问：在微量元素分析中，ICP-MS比原子吸收技术有什么优势？
答：在微量元素分析中，ICP-MS比原子吸收技术的优势包括更高的速度、精度和灵敏度。
问：ICP-MS的一些局限性是什么？
答：ICP-MS的一些局限性包括：该方法容易受到实验室器皿和所用试剂中的微量污染物的干扰，而且一些分析物可能无法使用ICP-MS。
问：对ICP-MS硬件有哪些监管措施？
答：ICP-MS硬件是特殊出口法规的对象，因为它可以帮助制造原子弹。